產品型號:
更新時間:2025-08-18
廠商性質:生產廠家
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產品分類
VPS-RF160 真空等離子清洗機 PDMS鍵合簡介:
VPS-RF160真空等離子清洗機利用等離子體來清洗物質表面,以達到清潔,活化、改性、刻蝕等目的。可以應用于半導體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
VPS-RF160主要由控制單元、真空腔體和真空泵三個部分,通過數控技術,可以輕松對各種參數進行調節,因為清洗過程在真空腔室中進行,所以清洗后不用干燥,操作簡單,效率高。

VPS-RF160 真空等離子清洗機特點:歐美放電技術,專業型放電結構,科學仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻。
產品應用:提高親水性、改善粘接性、表面微刻蝕、有機物去除、氧化物還原、提高印刷油墨附著力
產品參數:
| 型號 | VPS-RF160 |
| 等離子頻率 | 13.56MHz 自動阻抗匹配 |
| 工作真空度 | 10-100Pa |
| 真空泵 | 油泵/干泵(可選) |
| 功率 | 0-1000W可調 |
| 腔體材質 | 進口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選) |
| 腔體尺寸 | 560(W)*610(D)*500(H)mm |
| 腔體容積 | 165L |
| 單層有效處理面積 | W520mm x D520mm |
| 氣路數量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
| 處理層數 | 8層(可定制) |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 電源 | AC380V,50/60Hz |
| 外形尺寸 | 950mm(L)×1300mm(W) ×1850 mm(H) |